多功能真空校準裝置

　　爲滿足航天器熱試驗常用真空計及标準漏孔的校準需要，研制了多功能真空校準裝置。該裝置可用于進行熱偶真空計、壓阻規、電容薄膜真空規、潘甯規、熱陰極電離規等真空測量傳感器的校準，同時也可以用于滲透型真空漏孔的校準。裝置選用靜态比對法、動态比對法、質譜比對法設計建成，真空校準範圍爲1.33×105 Pa～1×10-4 Pa，真空漏孔校準範圍爲5×10-5～5×10-9 Pa·m3/s，裝置智能化水平高，操作簡便，适合真空規管的批量校準。

　　随着我國空間科學技術的發展，真空測量技術也得到長足進步，已廣泛應用在航空航天、電氣電子、石油化工等行業。特别是我國載人飛船、登月工程、火星探測等一系列國防新領域的飛速發展，對真空測量提出了更高的要求，相應的高精度、高可靠性的真空計量校準需求也應運而生。

　　傳統的實驗室真空校準裝置大多系統設計複雜，研制費用高，校準耗時長，無法滿足航天器研制任務的需要。本文研制了一套多功能真空校準裝置，該裝置選用靜态比對法、動态比對法以及質譜比對法的校準原理研制而成，通過設計不同量程的電容薄膜規組成标準規組的方法，解決了單一标準規在滿量程範圍内精度偏差的問題。裝置具有操作簡易，自動化程度高，可批量校準等特點，裝置校準範圍既覆蓋了航天領域主要真空校準需求，又具有研制成本低，綜合性價比高的優點。